微區(qū)掃描電化學(xué)顯微技術(shù)（Scanning Electrochemical Microscopy,SECM）是一種基于電化學(xué)原理的顯微技術(shù)，它通過測(cè)量微區(qū)內(nèi)物質(zhì)氧化或還原所給出的電化學(xué)電流來工作。以下是該技術(shù)的工作原理和主要組成部分：

　　工作原理

　　1.探針與基底：SECM使用一支非常小的電極（探針），通常是超微圓盤電極（UMDE），在靠近樣品（導(dǎo)體、絕緣體或半導(dǎo)體）處進(jìn)行掃描。

　　2.電位施加與反應(yīng)：當(dāng)探針與基底同時(shí)浸入含有電活性物質(zhì)的溶液中時(shí)，在探針上施加一定的電位（ET），使發(fā)生還原反應(yīng)。

　　3.反饋機(jī)制：

　　-正反饋：當(dāng)探針靠近導(dǎo)電基底時(shí)，其電位控制在氧化電位，則基底產(chǎn)物可擴(kuò)散回探針表面，使探針電流增大。探針離樣品的距離越近，電流就越大。

　　-負(fù)反饋：當(dāng)探針靠近絕緣基底表面時(shí)，本體溶液中電活性物質(zhì)向探針的擴(kuò)散受到基底的阻礙，故探針電流減??；且越接近樣品，電流越小。

　　4.掃描與成像：通過固定探針與基底間距對(duì)基底進(jìn)行二維掃描，探針上的電流變化將提供基底的形貌和相應(yīng)的電化學(xué)信息。SECM也可工作于“恒電流”狀態(tài)，即恒定探針電流，檢測(cè)探針z向位置變化以實(shí)現(xiàn)成像過程。

　　主要組成部分

　　1.電化學(xué)部分：包括電解池、探頭、基底、各種電極和雙恒電位儀。

　　2.壓電驅(qū)動(dòng)器：用來精確地控制操作探針和基底的位置。

　　3.計(jì)算機(jī)：用于控制操作、獲取和分析數(shù)據(jù)。

　　微區(qū)掃描電化學(xué)顯微技術(shù)通過精細(xì)的電化學(xué)測(cè)量和反饋機(jī)制，能夠在納米級(jí)別上研究材料的電化學(xué)性質(zhì)和行為，為科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用提供了有力的工具。